Sisèpteur rapid pou recuit tèmik

Nan pwosesis semi-kondiktè avanse yo, Rapid Thermal Processing (RTP) jwe yon wòl enpòtan nan reyalize yon kontwòl tèmik presi pou aktivasyon dopan, fòmasyon silisid, ak rekwis dyelèktrik. Nan kè chak sistèm RTA, Rapid Thermal Annealing Susceptor la sèvi kòm koòdone tèmik kle ant sous chalè a ak waf silikon yo, sa ki gen yon enpak dirèk sou inifòmite tanperati a ak estabilite pwosesis la. RTA Susceptor Semixlab la fèt pou siklaj tèmik tanperati ki wo ak kout dire, sa ki asire yon transfè chalè ki konsistan e ki ka repete anba kondisyon chofaj ak refwadisman rapid ki komen nan teknik Rapid Thermal Processing (RTP) avanse yo.

Sisèpteur grafit kouvri ak SiC Semixlab la fabrike ak grafit ultra-pite, ki ofri yon konduktivite tèmik eksepsyonèl ak yon mas tèmik kontwole pou yon repons tanperati rapid tout pandan y ap minimize reta tèmik. Substra grafit la kouvri ak yon kouch pwoteksyon inaktif carbure Silisyòm (SiC) ki amelyore estabilite sifas la, siprime jenerasyon patikil, epi amelyore anpil rezistans a chòk tèmik, oksidasyon, ak korozyon chimik.

Nan pwosesis RTP yo, Sisèptè RTA a jwe yon wòl enpòtan nan estabilizasyon chan tèmik la atravè sifas waf la. Lè li absòbe enèji radyan an avèk efikasite epi li re-emèt li inifòmman, sisèptè a minimize gradyan tanperati yo ni andedan waf yo ni ant yo. Inifòmite sa a esansyèl pou reyalize yon kontwòl presi sou rezistivite fim mens pandan aktivasyon enplantasyon iyon an, kenbe estabilite faz pandan fòmasyon silisid metal la, epi anpeche estrès fim inegal pandan rekwi dyelèktrik la.

Sisèpteur Chofaj Wafer Semixlab la optimize pou konpatibilite ak platfòm ekipman RTP ak RTA endikap yo, li sipòte tou de gwosè wafer 200 mm ak 300 mm. Sifas li kouvri ak SiC montre yon degajman gaz ki ba ak yon ekselan estabilite emisivite pandan sik tèmik repete, sa ki ede kenbe yon kalibrasyon tanperati presi epi diminye tan ekipman an pa fonksyone akòz kontaminasyon oswa antretyen.

Nan yon pèspektiv fabrikasyon, Sisèpteur Rapid Thermal Annealing Semixlab la se yon eleman pwosesis kritik ki enfliyanse inifòmite elektrik, pousantaj domaj, ak efikasite ekipman an jeneral (OEE). Lè Semixlab entegre materyèl ki gen gwo pite, teknoloji kouch ki pwouve, ak yon konsepsyon oryante sou pwosesis, li bay yon solisyon substrat RTA avanse ki asire yon pèfòmans tèmik ki estab, minimize risk kontaminasyon patikil, epi reyalize estabilite pwosesis alontèm. Pi enpòtan toujou, Semixlab angaje l pou l bay teknoloji dènye kri ak solisyon sisèpteur RTA pèsonalize pou pwosesis RTP semi-kondiktè yo. Nou sensèman ap tann pou nou vin patnè alontèm ou nan peyi Lachin.