EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Sisèpteur planèt ki kouvri ak SiC
Susèpteur planèt ki kouvri ak SiC pa Semixlab la fèt pou anviwònman pwodiksyon semi-kondiktè avanse ki mande yon inifòmite tèmik eksepsyonèl, fyab sik long, ak operasyon san kontaminasyon. Devlope espesyalman pou kwasans epitaksi Si, SiC, ak GaN, osi byen ke difizyon CVD ak rekui nan tanperati ki wo, susèpteur sa a prezante yon kouch pwoteksyon SiC ki gen gwo pite ki pèmèt yon manyen waf ki estab nan atmosfè chimik agresif ak tanperati ki pi wo pase 1500°C. Li fèt pou diminye dansite domaj, amelyore konsistans epesè epitaksi, epi pwolonje tan fonksyònman ekipman an. Nou ap tann demann ou an.
Deskripsyon
Sisèpteur planèt Semixlab ki kouvri ak SiC la fèt pou epitaksi semikondiktè ak pwosesis tèmik CVD pwochen jenerasyon an, kote inifòmite tèmik, kwasans san domaj, ak estabilite chanm alontèm enpòtan anpil pou rannman aparèy la. Sipò sa a fèt espesyalman pou anviwònman tanperati ki wo ki depase 1500°C ak chimi gaz konplèks ki souvan jwenn nan sistèm epitaksi Silisyòm, SiC, ak GaN. Kouch SiC propriétaires la bay yon kouch pwoteksyon dans ak pite ki anpeche kontaminasyon epi ki asire operasyon ki estab ak sik long nan faktori pwodiksyon ki mande anpil.
Nan pwosesis epitaksyal semi-kondiktè tankou kwasans Si, SiC, ak GaN, transpòtè waf planetè yo sèvi kòm platfòm mekanik ak tèmik prensipal pou transpòte waf yo nan zòn reyaksyon an. Konduktivite tèmik optimize yo pèmèt yon distribisyon tanperati presi, pandan sistèm wotasyon planetè a asire inifòmite nan to kwasans, enkòporasyon dopan, ak kalite kristal atravè plizyè waf. Nan fabrikasyon aparèy pouvwa SiC, menm ±1-2% fluktuasyon tanperati substrati a afekte dansite dislokasyon plan bazal la ak pèfòmans aparèy la. Inifòmite tèmik amelyore ke transpòtè waf planetè kouvri ak SiC yo bay la ede faktori yo diminye dansite domaj, amelyore inifòmite epesè, epi ogmante sede pakèt a pakèt.
Anplis pwosesis epitaksi yo, sisèpteur sa a enpòtan tou nan difizyon depo vapè chimik ak pwosesis rekui tèmik, li sèvi kòm yon koòdone tèmik ki estab ant sous chalè a ak sifas waf la. Karakteristik sifas li yo ki pa kite rezidi e ki gen mwens patikil minimize risk kontaminasyon pandan sik tèmik pwolonje, pwoteje waf yo kont twou, fòmasyon patikil, oswa kontaminasyon dèyè. Konpare ak asanblaj sipò konvansyonèl ki baze sou grafit, konsepsyon kouch SiC Semixlab la pwolonje lavi sèvis li anpil, diminye tan entèripsyon pou netwayaj ak renovasyon, epi li bay pi ba pri pou liy pwodiksyon gwo volim.
Chak Sisèpteur Planèt Semixlab ki kouvri ak SiC fabrike lè l sèvi avèk substrats grafit ki gen gwo pite ak teknoloji avanse pou depoze kouch CVD SiC pou asire fòs adezyon kouch, inifòmite epesè, ak rezistans chòk tèmik. Pwodwi a ofri dimansyon ak konfigirasyon personnalisable pou akomode platfòm epitaxial dirijan yo itilize nan fabrikasyon ekipman semi-kondiktè endikap yo. Sèvis teknik Semixlab yo gen ladan evalyasyon pèfòmans kouch, konsiltasyon konpatibilite chanm, ak jesyon sik lavi, ki fèt pou ede faktori yo ogmante kapasite, kenbe sede, epi amelyore sik pwodiksyon ekipman yo. Nou sensèman ap tann plis demann ou yo.
Sèvis Nou Ofri
Boutik pwodwi Semixlab
