Bato grafit PECVD ki gen gwo pite

Apèsi sou lekòl la Product

Bato grafit PECVD yo lajman itilize nan liy fabrikasyon selil solè kote waf silikon yo bezwen pase nan pwosesis kouch plasma ak pasivasyon plizyè fwa. Piske sipò grafit la antre an kontak dirèk ak waf yo pandan chajman, transfè ak depo, estabilite li gen yon gwo enfliyans sou kontwòl kontaminasyon ak fyab automatisation.

Bato grafit Semixlab yo trete ak materyèl grafit pirifye ki gen yon kontni sann ki ba epi yon distribisyon dansite ki estab. Estrikti a fèt selon kondisyon fonksyònman pratik yo jwenn nan liy pwodiksyon kontinyèl, sitou kote chanjman tanperati rapid ak manyen robotik ki gen gwo frekans yo komen.

Nan itilizasyon reyèl, anpil faktori peye atansyon non sèlman sou pite, men tou sou defòmasyon apre sik pwodiksyon ki long. Yon sipò ki pliye oswa chanje fòm twò vit ka fasilman mennen nan pwoblèm transfè, grate waf, oswa pozisyon chajman enstab. Pou diminye risk sa yo, bato grafit yo fèt ak karakteristik ekspansyon tèmik relativman ba ak yon konsistans mekanik amelyore.

Yo kapab sipòte diferan gwosè waf ak konfigirasyon automatisation tou selon bezwen ekipman kliyan yo. Pwodwi a souvan itilize pou anviwònman pwodiksyon TOPCon, HJT, PERC, ak PECVD ki gen rapò.

Key Features

Materyèl grafit pirifye ak yon kontni sann anba 20ppm.

Estrikti ki estab anba sik chofaj ak refwadisman repete.

Ekspansyon tèmik ki pi ba konpare ak transpòtè grafit konvansyonèl yo.

Apwopriye pou sistèm chajman wafer otomatik yo.

Rediksyon defòmasyon pandan operasyon pwosesis plasma alontèm.

Konpatib ak platfòm pwodiksyon wafer M10 ak M12.

Estrikti fant ki fèt ak machin ede amelyore estabilite transfè a.

Disponib pou dimansyon ak espasman pèsonalize.

Nòt sou Pwodiksyon ak Materyèl

Yo ka chwazi materyèl grafit yo itilize pou sistèm transpòtè sa yo selon kondisyon pwosesis kliyan an ak sik sèvis yo prevwa a. Tou depan de anviwònman aplikasyon an, yo ka konsidere tou de kalite grafit enpòte oswa materyèl lokal pirifye.

Semixlab sipòte tou ajisteman machinasyon ki baze sou diferan platfòm automatisation, tankou espasman fant, estrikti gid, oryantasyon chajman, ak konfigirasyon asanblaj. Anvan pwodiksyon an mas, verifikasyon dimansyonèl ak evalyasyon pwosesis yo nòmalman fèt dapre desen kliyan yo oswa egzijans echantiyon yo.

Espesifikasyon teknik