Distribisyon Gaz Super E

Gas Distribution Super E 0200-00410 la se yon plak distribisyon gaz kwatz (GDP) ki fèt ak presizyon epi ki fèt pou ekipman pwosesis plasma semi-kondiktè. Enstale nan seksyon anwo chanm pwosesis la, konpozan sa a asire yon livrezon inifòm gaz pwosesis yo sou tout sifas waf la, sa ki pèmèt yon jenerasyon plasma ki estab ak rezilta pwosesis waf ki konsistan.

Fabrike avèk kwatz fizyon semi-kondiktè ki gen gwo pite, plak distribisyon gaz 0200-00410 la ofri yon ekselan rezistans a korozyon plasma, yon estabilite tèmik siperyè, ak nivo kontaminasyon ki ba anpil. Pwopriyete sa yo fè li yon eleman kritik nan anviwònman fabrikasyon semi-kondiktè avanse kote inifòmite pwosesis ak pwòpte chanm yo esansyèl.

Nan Semixlab, nou espesyalize nan founi konpozan kwatz ki gen gwo presizyon pou ekipman semi-kondiktè, ki fèt pou satisfè estanda endistri strik yo an tèm de presizyon dimansyonèl, pite, ak fyab alontèm.

Apèsi sou lekòl la Product

Plak Distribisyon Gaz 0200-00410 la fèt pou distribye gaz pwosesis yo avèk presizyon nan chanm reyaksyon an, pou asire yon koule gaz ki estab e inifòm sou tout sifas waf la.

Konpozan sa a lajman itilize nan ekipman pou grave ak depoze plasma, kote kontwòl egzak koule gaz la afekte dirèkteman estabilite plasma, inifòmite vitès grave, ak pèfòmans jeneral pwosesis la.

Karakteristik estriktirèl tipik yo

Plak Distribisyon Gaz 0200-00410 la fèt ak karakteristik estriktirèl optimize pou ekipman semi-kondiktè ki gen gwo presizyon.

Konsepsyon Sorti Gaz Plizyè Twou:

Plak la gen yon seri twou distribisyon gaz ki fèt avèk presizyon ki pèmèt yon enjeksyon gaz kontwole ak inifòm nan chanm pwosesis la.

Zòn Pwosesis Wafer ki Matche Jewometri Sikilè:

Desen sikilè a aliyen ak rejyon pwosesis wafer la, sa ki asire ke koule gaz la rete distribye respire sou sifas wafer la.

Machin presizyon:

Pwosesis avanse pou machin CNC asire tolerans dimansyonèl sere ak plasman twou gaz egzat, ki esansyèl pou kenbe modèl koule gaz ki estab.

Fini sifas kwatz lis:

Sifas plak la fini ak anpil atansyon pou minimize jenerasyon patikil epi kenbe konpatibilite ak anviwònman fabrikasyon semikondiktè ultra-pwòp.

Estabilite estriktirèl:

Epesè optimize ak fòs mekanik plak kwatz la asire yon operasyon serye anba kondisyon pwosesis plasma nan tanperati ki wo.

Wòl nan Ekipman Semi-kondiktè

Plak Distribisyon Gaz la se youn nan konpozan ki pi enpòtan andedan chanm pwosesis plasma semi-kondiktè yo. Wòl prensipal li se asire yon livrezon gaz presi ak inifòm, sa ki afekte dirèkteman pèfòmans pwosesis la ak kalite waf la.

Distribisyon Gaz Pwosesis Inifòm:

Konsepsyon plizyè twou a pèmèt gaz pwosesis yo distribye respire sou sifas waf la. Sa ede kenbe yon konsantrasyon gaz konsistan nan tout chanm lan epi amelyore inifòmite pwosesis la an jeneral.

Amelyorasyon Estabilite Plasma:

Yon koule gaz ki estab enpòtan anpil pou kenbe yon dansite plasma ki konsistan. Lè plak distribisyon gaz la distribye gaz la egalego, li kontribye nan yon jenerasyon plasma ki estab epi amelyore repetabilite pwosesis la.

Amelyorasyon Inifòmite Pwosesis la:

Kontwòl egzak koule gaz la asire ke vitès grave oswa depo a rete konsistan sou tout sifas wafer la, sa ki diminye varyasyon soti nan kwen rive nan sant.

Pwoteksyon Chanm:

Konpozan an aji tou kòm yon koòdone estriktirèl ant sistèm livrezon gaz la ak chanm reyaksyon an, ede pwoteje konpozan chanm ki antoure yo pandan y ap kenbe kondisyon pwosesis ki estab.

Materyèl ak avantaj kle yo

Yo fabrike Gas Distribution Super E 0200-00410 la avèk kwatz fizyon (SiO₂) ki gen anpil pite, yon materyèl yo itilize anpil nan pwosesis semi-kondiktè akòz pwopriyete fizik ak chimik eksepsyonèl li yo.

Rezistans Plasma Segondè: Quartz demontre yon ekselan rezistans nan anviwònman plasma agresif yo jwenn souvan nan pwosesis semi-kondiktè, tankou pwodui chimik ki baze sou fliyò ak klò. Sa asire yon pèfòmans ki estab ak yon lavi operasyonèl ki long.

Kontaminasyon Ultra-Ba: Kwatz klas semi-kondiktè a gen nivo enpurte metalik ki ba anpil. Sa ede anpeche kontaminasyon andedan chanm pwosesis la epi li sipòte yon gwo rannman waf ak fyab aparèy la.

Ekselan estabilite tèmik: Quartz ofri yon rezistans eksepsyonèl a tanperati ki wo ak siklaj tèmik, sa ki fè li apwopriye pou kondisyon pwosesis plasma ki difisil.

Inertness chimik: Materyèl la rete chimikman estab nan anviwònman reyaktif, sa ki diminye degradasyon sifas la epi minimize jenerasyon patikil pandan operasyon alontèm.

Izolasyon elektrik: Kòm yon materyèl izolan elektrik, kwatz pa entèfere ak chan mayetik RF yo nan chanm plasma yo, sa ki pèmèt fòmasyon plasma ki estab ak kondisyon pwosesis ki konsistan.