Bag anlè kwatz

Bag Quartz Top Ring 0200-02626 la se yon konpozan kwatz ki gen gwo presizyon yo itilize nan ekipman fabrikasyon semi-kondiktè. Li fèt pou opere nan anviwònman ki mande anpil plasma tankou chanm grave ak depo vapè fizik (PVD), bag kwatz sa a fonksyone kòm yon eleman pwoteksyon ak estabilizasyon pwosesis kritik andedan chanm lan.

Nan Semixlab, nou bay pyès rezèv semi-kondiktè kalite siperyè ak konpozan kwatz presizyon ki fèt pou satisfè egzijans strik enstalasyon fabrikasyon wafer modèn yo. 0200-02626 Quartz Top Ring la fabrike lè l sèvi avèk kwatz fonn ki gen gwo pite pou asire ekselan estabilite tèmik, rezistans plasma, ak kontwòl kontaminasyon.

Apèsi sou lekòl la Product

Bag anlè Quartz 0200-02626 la tipikman enstale nan rejyon anwo yon chanm pwosesis semi-kondiktè, ki antoure oswa aliyen ak zòn pwosesis waf la. Li lajman itilize kòm yon eleman pwoteksyon ak estabilizasyon koule nan sistèm pwosesis plasma.

Enfòmasyon kle sou pwodwi

Fabrike avèk tolerans dimansyonèl strik ak yon pite materyèl ki wo, Quartz Top Ring la ede kenbe anviwònman pwosesis ki estab ak yon rannman wafer ki konsistan.

Karakteristik estriktirèl tipik yo

Bag Quartz Top 0200-02626 la fabrike ak yon jeyometri optimize pou entegrasyon ak chanm pwosesis semi-kondiktè yo.

Karakteristik konsepsyon tipik yo enkli:

● Dyamèt enteryè presi (ID) ki aliyen ak zòn pwosesis wafer la

● Dyamèt ekstèn (OD) ki fèt pou yon montaj an sekirite nan plak pwotèj chanm oswa enstalasyon

● Pwofil an gradyèl oswa an rainure pou amelyore estabilite mekanik

● Twou oswa fant pou koule gaz si ou vle pou ede ak distribisyon plasma ak gaz

● Sifas kwatz poli pou minimize jenerasyon patikil

● Machinasyon ak gwo presizyon pou enstalasyon ak repetabilite konsistan

Karakteristik estriktirèl sa yo ede asire operasyon serye nan anviwònman ki gen anpil vakyòm ak anpil plasma.

Fonksyon Anndan Ekipman Semi-kondiktè

Anndan sistèm pwosesis semi-kondiktè yo, bag anlè Quartz la jwe plizyè wòl esansyèl ki enfliyanse dirèkteman pèfòmans chanm lan ak kalite waf la.

Pwoteksyon Plasma: Bag la aji kòm yon baryè pwoteksyon ant anviwònman plasma a ak konpozan kritik chanm lan, pou anpeche plasma a ekspoze dirèkteman nan estrikti metalik yo.

Pwoteksyon Chanm: Bag anlè kwatz yo sèvi kòm konpozan sakrifisyèl, pou absòbe sou-pwodwi pwosesis yo tankou rezidi depo oswa reyaksyon grave. Sa ede pwoteje pyès chanm ki chè yo kont domaj.

Estabilite pwosesis: Lè yo fòme rejyon plasma a epi kenbe yon espasman konsistan otou kwen wafer la, bag kwatz la kontribye nan yon konpòtman plasma ki estab ak kondisyon pwosesis ki ka repete.

Kontwòl Inifòmite Bò: Bag kwatz ki byen fèt ede kontwole koule gaz la ak distribisyon plasma a, sa ki amelyore inifòmite kwen wafer la ak pèfòmans jeneral pwosesis la.

Materyèl ak avantaj

Bag Quartz Top 0200-02626 la pwodui ak kwatz fizyone ki gen gwo pite (SiO₂), yon materyèl ki lajman itilize nan ekipman semi-kondiktè akòz pèfòmans eksepsyonèl li anba kondisyon plasma ak tanperati ki wo.

Avantaj kle materyèl yo:

1. Ekselan rezistans Plasma

Kwatz fizyone demontre yon gwo rezistans a bonbadman iyon ak korozyon plasma, sa ki fè li ideyal pou anviwònman pwosesis semi-kondiktè ki difisil.

2. Kontaminasyon Metal Ultra-Ba

Kwatz ki gen gwo pite a gen nivo enpurte metalik ki ba anpil, sa ki ede anpeche jenerasyon patikil ak kontaminasyon pandan pwosesis wafer la.

3. Estabilite tèmik siperyè

Quartz kenbe entegrite estriktirèl nan tanperati ki wo yo jwenn souvan nan chanm plasma yo.

4. Izolasyon elektrik

Kòm yon materyèl ki pa kondiktè, kwatz ede estabilize chan elektrik la nan chanm plasma yo, sa ki kontribye nan kondisyon pwosesis inifòm.

5. Inertness chimik

Quartz montre yon gwo rezistans a gaz pwosesis reyaktif yo itilize nan fabrikasyon semi-kondiktè.

Pwopriyete sa yo fè kwatz fonn yon materyèl pi pito pou konpozan pwoteksyon chanm ak pati ki ekspoze a plasma.