EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Bag Klips 0200-15001
Bag klamp AMAT 0200-15001 la se yon konpozan chanm seramik Al₂O₃ (oksid aliminyòm) ki fèt ak presizyon epi ki lajman itilize nan ekipman semi-kondiktè Applied Materials. Li fèt pou sekirize ak estabilize estrikti chanm entèn yo anba anviwònman ki gen tanperati ki wo ak ki rich an plasma. Nan yon pèspektiv jeni pwosesis, konpozan sa a jwe yon wòl enpòtan nan kenbe aliyman mekanik, inifòmite plasma, ak kontwòl patikil, tout bagay sa yo gen yon enpak dirèk sou rannman waf la ak estabilite pwosesis la.
Deskripsyon
Bag klou AMAT 0200-15001 la se youn nan konpozan estriktirèl kle nan chanm ekipman semi-kondiktè Applied Materials (AMAT). Li se yon konpozan seramik aliminyòm (Al₂O₃) ki gen gwo pite pou bloke/konprese, ki lajman itilize nan modil pwosesis depozisyon ak grave. Valè fondamantal li pa chita nan patisipasyon dirèk nan reyaksyon yo, men nan kenbe estabilite estriktirèl chanm lan ak konsistans anviwònman pwosesis la.
1. Apèsi sou pwodwi a ak pwopriyete materyèl yo (Al₂O₃)
● Non pwodwi: AMAT 0200-15001 Bag kranpon
● Kategori: Bag Seramik pou Klè Chanm / Konpozan Klè Chanm
● Materyèl: Seramik aliminyòm ki gen anpil pite (Al₂O₃)
2. Fonksyon prensipal nan ekipman semi-kondiktè
Nan estrikti chanm AMAT la, bag kranpon sa a sèvi prensipalman fonksyon kontrent mekanik ak asirans estabilite pwosesis la:
① Fiksasyon estriktirèl ak blokaj chanm
Itilize pou byen ranje konpozan chanm kritik yo, tankou:
●Kwartz (konpozan kwatz)
●Revètman (pawa chanm)
● Bag kwen (estrikti bag kwen)
●Pom douch (estrikti distribisyon gaz)
Bridaj presi anpeche move aliyman estriktirèl ki koze pa ekspansyon tèmik oswa estrès vakyòm.
② Kontwòl Inifòmite Plasma
Presizyon jewometrik bag kranpon an enfliyanse dirèkteman:
● Simetri distribisyon chan elektrik la
● Inifòmite dansite plasma
●Kapasite kontwòl efè kwen
Sa a patikilyèman enpòtan pou pwosesis avanse (≤28 nm).
③ Kontwòl Patikil ak Asirans Rannman
Estabilite estriktirèl la diminye mikwo-vibrasyon ak friksyon, kidonk minimize:
● jenerasyon mikwo-patikil
● kontaminasyon kwen wafer la
● varyasyon nan dansite domaj yo
3. Mòd echèk tipik (analiz echèk)
Baze sou eksperyans Semixlab nan antretyen ak renovasyon ekipman, mòd echèk komen pou kalite bag kranpon Al₂O₃ sa a gen ladan yo:
① Ewozyon Plasma
Ekspozisyon alontèm nan anviwònman gaz reyaksyon an mennen nan:
● Sifas ki graj
●Materyèl pulverizasyon
● Ogmantasyon liberasyon patikil
② Krakman estrès tèmik
Ki koze pa chanjman rapid nan tanperati (sik tèmik):
●Fòmasyon ak pwopagasyon mikrokrak
● Diminisyon nan fòs estriktirèl
●Risk potansyèl pou ka zo kase
③ Eblè kwen
Souvan wè nan ka sa yo:
●Estrès enstalasyon inegal
● Kontwòl koupl ki pa apwopriye
●Enpak mekanik
④ Echèk Degazaj Patikil
Liberasyon patikil Al₂O₃ apre degradasyon sifas:
● Ogmantasyon pousantaj domaj wafer
● Fenèt pwosesis ki pi etwat
⑤ Deriv dimansyonèl
Chanjman mikwoestriktirèl ki koze pa chaj tèmik alontèm:
● Diminye presizyon aliyman
●Seli chanm ki deteryore
Sèvis Nou Ofri
