EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Pagal Cantilever SiC
Palèt Cantilever SiC Semixlab yo se konpozan ki fèt ak presizyon pou manyen waf nan pwosesis semi-kondiktè ki gen gwo tanperati tankou epitaksi, oksidasyon, ak CVD. Fèt ak carbure silikon rekristalize oswa CVD ki gen gwo pite, palèt sa yo ofri ekselan konduktivite tèmik, ekspansyon tèmik ki ba, ak rezistans chimik eksepsyonèl. Konsepsyon lejè ak gwo fòs yo asire estabilite dimansyonèl ak pwoteksyon waf pandan sik tèmik rapid. Avèk konfyans lidè semi-kondiktè mondyal yo, Semixlab bay solisyon konplètman Customized, livrezon rapid, ak yon dire lavi pwodwi ki long—sa ki fè li yon patnè ideyal pou bezwen fabrikasyon semi-kondiktè avanse.
Deskripsyon
Ⅰ. Palèt Cantilever SiC ki gen gwo pite pou manyen wafer presi
Palèt Cantilever SiC yo se konpozan kritik yo itilize nan ekipman pwosesis tèmik pou manyen waf pandan etap epitaksi, difizyon, ak oksidasyon nan fabrikasyon semi-kondiktè. Pwopriyete tèmik ak mekanik eksepsyonèl yo fè yo ideyal pou anviwònman tanperati ki wo ak koroziv nan operasyon chanm pwòp.
Ⅱ. Apèsi sou pwodwi a ak avantaj fonksyonèl yo
1. Pwopriyete materyèl eksepsyonèl pou aplikasyon pèfòmans segondè
Palèt Cantilever SiC Semixlab yo fabrike ak kouch Silisyòm carbure rekristalize (R-SiC) oswa CVD SiC ki gen yon gwo pite, sa ki bay yon ekselan konduktivite tèmik (jiska 120 W/m·K), yon ekspansyon tèmik ki ba (~4.0 x 10⁻⁶/K), ak yon rezistans eksepsyonèl a korozyon ak chòk tèmik. Pwopriyete sa yo asire yon sipò waf ki estab pandan pwosesis tanperati ki wo, sa ki minimize risk defòmasyon oswa kontaminasyon waf la.
2. Estabilite dimansyonèl siperyè ak platè
Avèk yon deformation minimòm menm nan tanperati ki depase 1400°C, konsepsyon cantilever la asire yon plasman ak transfè inifòm sou waf la, ki enpòtan pou inifòmite kouch epitaksyèl la. Mas ki ba ak gwo rèd SiC a amelyore débit sistèm nan ak repons tanperati a pandan pwosesis tèmik rapid la.
3. Pite sifas ki gen menm nivo ak chanm pwòp la
Gras a fini sifas SiC ki dans e lis la, palèt Semixlab yo minimize jenerasyon patikil ak degajman gaz. Sa a patikilyèman enpòtan nan anviwònman ki mande nivo pwòpte Klas 1 oswa ISO 14644-1 Klas 2.
4. Adapte pou founo epitaksi, difizyon, ak CVD
Palèt Cantilever SiC nou yo lajman itilize nan platfòm MOCVD, LPCVD, ak founo oksidasyon, konpatib ak mak ekipman dirijan tankou ASM, TEL, ak Veeco. Yo fèt pou inifòmite tèmik ak presizyon mekanik optimal, ede asire pi gwo sede ak mwens varyasyon pwosesis.
3. Poukisa ou ta dwe chwazi Semixlab?
Nou bay sèvis enjenyè ki fèt sou mezi, tankou:
● Pèsonalizasyon pwodwi pou gwosè, estrikti, ak klas materyèl
● Optimizasyon kouch pou rezistans tèmik ak chimik
● Kapasite pou fè prototip rapid ak pwodiksyon an ti kantite
● Konsiltasyon teknik ak validasyon konsepsyon
Kòm yon manifakti ak faktori Chinwa dirijan nan pwodwi SiC Cantilever Paddles, Semixlab ensiste sou bay solisyon teknoloji ak pwodwi Customized. Kit ou vle optimize pwosesis tretman chalè ki egziste deja a, achte pyès ranplasman pèfòmans segondè, oswa devlope ansanm solisyon SiC Customized, Semixlab ap ba ou sipò teknik ak livrezon.
Aplikasyon
● Transpòtè waf epitaksi MOCVD yo
● Bra pale founo oksidasyon ak difizyon
● Sistèm chajman wafer nan zouti LPCVD/CVD
● Bra sipò susèpteur Customized pou kwasans semi-kondiktè konpoze
Sèvis Nou Ofri
Boutik pwodwi Semixlab
