SiC bag kwen grave

Yon bag kwen pou grave semi-kondiktè se yon eleman anilè ki pozisyone konsantrikman otou waf silikon an andedan chanm pou grave sèk. Yo rele l tou yon bag konsantre oswa yon bag kwen, li sèvi kòm limit pwosesis ant kwen waf la ak anviwònman chanm lan.

Materyèl Konpozisyon:

Silisyòm Karbid (SiC): Silisyòm karbid CVD oubyen SiC sinterize—chwa dominan pou nœuds avanse yo

Bag la gen yon dyamèt enteryè presi ki koresponn ak gwosè waf la (200mm, 300mm, oswa 450mm), yon epesè kontwole, ak tolerans dimansyonèl sere. Karakteristik jewometrik yo ka gen ladan pwofil etap pa etap, rainur, twou pozisyon, oswa chanfren selon konsepsyon chanm lan.

Avantaj materyèl

Bag kwen Silisyòm Carbide (SiC):

Rezistans eksepsyonèl kont ewozyon plasma: Reziste anviwònman plasma agresif ki baze sou fliyò ak klò, sa ki pwolonje dire lavi konpozan yo anpil.

Segondè konduktivite tèmik: Apeprè 2.5 fwa pi wo pase seramik aliminyòm, sa ki pèmèt yon estabilizasyon tanperati efikas nan kwen wafer la.

Dite siperyè ak rezistans mete: Redui eklatman, fann, ak jenerasyon patikil pandan manyen ak operasyon.

Koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba: Kenbe estabilite dimansyonèl anba kondisyon siklaj tèmik

Bag kwen SiC yo kenbe pwofil tèmik ki estab pandan grave plasma a, sa ki minimize gradyan tanperati ant sant waf la ak kwen an. Kouplaj tèmik sa a amelyore dirèkteman konsistans vitès grave a ak kontwòl dimansyon kritik yo.

Mòd echèk komen

1. Ewozyon Plasma

Kòz: Bonbadman iyon kontinyèl ak reyaksyon chimik yo piti piti retire materyèl sou sifas bag la.

Rezon Jeni: Menm SiC, ak rezistans siperyè li, erode nan yon vitès mezirab nan anviwònman plasma agresif.

Solisyon: Kontwole epesè ak pwofil bag la sou tan; etabli orè ranplasman ki baze sou done to ewozyon olye de kantite waf fiks yo.

2. Kwen k ap fann ak fann

Kòz: Enpak mekanik pandan manyen, erè enstalasyon, oswa estrès tèmik ki soti nan chanjman tanperati rapid

Rezon Jeni: Materyèl seramik frajil yo sansib a konsantrasyon estrès nan bor byen file oswa domaj sifas yo.

Solisyon: Aplike SOP ki strik sou manyen, sèvi ak zouti ki gen pwent mou, asire yon konsepsyon chanfren ki apwopriye pandan fabrikasyon, epi evite chòk tèmik pandan kondisyone chanm lan.

3. Jenerasyon Patikil

Kòz: Sifas ki vin graj, mikwo-krak, oswa delaminasyon kouch lage patikil ki depoze sou waf yo.

Rezon Jeni: Pandan bag la ap erode, chanjman mòfoloji sifas la ka deklanche pèt patikil.

Solisyon: Defini kritè akseptasyon pou aspè sifas la; swiv tandans patikil yo pandan tout dire lavi bag la; ranplase anvan nivo patikil yo depase spesifikasyon an.