Bag kwen pou graveur plasma

Si w te janm ajiste yon aparèy pou grave plasma pou inifòmite soti nan kwen rive nan sant la, ou konnen ke kwen waf la se kote bagay yo vin konplike. Dansite plasma a gen tandans bese oswa ogmante toupre periferi a, koube kouch la chanje, epi iyon yo kòmanse frape miray chanm lan olye de waf la. Se la bag kwen an antre an jwèt - li pa sèlman yon espas mekanik; li se yon pati aktif nan anviwònman elektrik ak chimik la.

Nan Semixlab, nou fabrike bag kwen ak twa fanmi materyèl: silikon ultra-pi, carbure silikon solid konplètman dans, ak grafit ak yon kouch CVD SiC. Chak kalite gen pwòp pwen dous li, men yo tout pataje yon sèl objektif - kenbe plasma a fèmen, patikil yo ba, epi vitès grave a inifòm sou tout sifas waf la. Bag nou yo itilize nan lojik, memwa, aparèy pouvwa, MEMS, semi-kondiktè konpoze, e menm liy anbalaj avanse.

Poukisa bag kwen an merite plis atansyon

Nan yon chanm plasma tipik, waf la chita sou yon mandrin elektwostatik, epi bag kwen an antoure li. Pandan grave a, iyon yo akselere nan direksyon waf la - men nan kwen an, chan elektrik la ka defòme, sa ki lakòz distribisyon angilè iyon yo chanje. San yon bag byen fèt, ou pral wè:

● Gravure pi rapid toupre kwen an (oswa pi dousman, selon pwodui chimik la)

● Dimansyon kritik ki pa inifòm atravè mwazi a

● Plis patikil k ap dekale sou sifas chanm ki pa pwoteje yo

● Derive nan enpedans chanm lan, sa ki deranje rezo adaptasyon ou an

Yon bon bag kwen diminye tout bagay sa yo. Li bay limit plasma a fòm, pwoteje mandrin ki anba a ak revètman an kont bonbadman iyon, epi li ede ou jwenn menm rezilta a soti nan waf #1 rive nan waf #1000.

Sa ki fè bag kwen nou yo diferan

Nou pa sèlman fabrike yon bag epi anbake li. Nou reflechi sou kijan li konpòte li nan kondisyon pwodiksyon reyèl - plasma dansite wo, gaz altène (SF₆, C₄F₈, Cl₂, BCl₃), ak sik tèmik ki ka varye soti nan tanperati chanm rive nan plizyè santèn degre an segonn.

● Pite materyèl la – Silisyòm nou an gen plis pase 99.999% (5N), epi klas SiC nou yo kontwole egalman. Nivo tras metal yo kenbe anba 1 ppm, kidonk ou pa jwenn kontaminasyon inatandi sou kouch ki trè sansib yo.

● Rezistans plasma – Pati solid SiC ak CVD yo fasilman reziste resèt agresif ki baze sou fliyò ak klò, ak to ewozyon ki tipikman yon lòd mayitid pi ba pase kwatz oswa aliminyòm toutouni.

● Presizyon dimansyonèl – Nou kenbe tolerans ±0.02 mm sou dyamèt ak epesè, ak yon planite pi bon pase 10 µm atravè bag la. Sa asire yon anfòm sere nan chanm Lam, TEL, oswa AMAT san chemen flit gaz.

● Fini sifas – Apre machinasyon an, nou poli sifas yo pou yo gen yon fini tankou glas (Ra < 0.4 µm) pou minimize zòn pou patikil yo adezyon ak debòdman.

● Rezistans chòk tèmik – Tou de SiC solid ak grafit kouvri yo sipòte chanjman tanperati rapid san yo pa fann, gras a CTE ki matche ak gwo rezistans frakti.

Twa chwa materyèl – Kilès ki pi bon pou pwosesis ou a?

Tout twa yo disponib nan dyamèt, epesè, ak pwofil enteryè/ekstèn pèsonalize - jis voye nou desen ou an.

Ki kote w ap jwenn bag nou yo nan Fab la

● Aparèy ICP (plasma makonnen endiktivman) – tou de modèl plasma endirèk ak plasma dirèk

● Gravè CCP (kouplé kapasitivman) – espesyalman pou kouch dyelèktrik tankou SiO₂ ak SiN

● Gravure iyon reyaktif pwofon (DRIE) pou TSV ak MEMS

● Gravure semi-kondiktè konpoze – GaAs, InP, GaN – kote pite ak kontwòl ewozyon yo enpòtan anpil.

● Anbalaj avanse – pa egzanp, fanout nivo wafer ak pwosesis RDL ki mande pou yon koupe plasma pwòp e inifòm.

Koule fabrikasyon an – Soti nan matyè premyè rive nan anbalaj chanm pwòp la

● Seleksyon materyèl – Verifikasyon pite, gwosè grenn (pou SiC), ak dansite k ap vini an.

● Usinaj prefòm – Tournage ak fraisage brut nan fòm prèske nèt.

● Broyaj presizyon – Broyaj ak wou dyaman pou reyalize jeyometri final la ak planè.

● Polisaj – Polisaj mekanik oswa chimik-mekanik pou jwenn sifas ki nesesè a.

● Kouch CVD (si sa aplikab) – Pou grafit ki kouvri, nou depoze yon kouch SiC 100–200 µm avèk estekiyometri kontwole.

● Enspeksyon final – CMM pou dimansyon, pwofilomèt pou aspè ki graj, ak mikwoskòp optik pou domaj.

● Netwayaj ultrasonik – Retire tout patikil ki rete, epi apre sa, seche nan yon chanm pwòp Klas 100.

● Anbalaj sele anba vid – Nan doub sak pou chajman.

Asirans Kalite - Nou Verifye Tout Bagay

Chak pakèt sibi yon lis verifikasyon lage strik:

● Sètifika pite materyèl (GDMS oswa ICPMS)

● Rapò dimansyonèl ak mezi kritik pou fonksyon an

● Pwofil sifas ki pa lis

● Epesè kouch ak adezyon (pou modèl ki gen kouch) – nou itilize yon tès reyur ak yon seksyon SEM sou echantiyon reprezantatif

● Enspeksyon vizyèl anba limyè gwo entansite pou fant, twou, oswa enklizyon

● Konte patikil apre netwayaj – nou itilize kontè patikil likid pou asire < 0.1 patikil/cm² > 0.1 µm

Kesyon komen nan men kliyan nou yo

K1: Konbyen fwa mwen ta dwe ranplase yon bag kwen?

A: Sa depann de resèt ou a ak nivo puisans ou. Nan grave fluorocarbon lou, bag SiC solid yo ka dire 3-6 mwa operasyon kontinyèl; bag silikon yo ka bezwen ranplasman chak 1-2 mwa. Nou rekòmande pou w swiv inifòmite vitès kwen ou a - lè ou wè yon chanjman > 5%, li lè pou w tcheke bag la.

K2: Èske mwen ka itilize yon bag grafit kouvri nan yon graveur ICP dansite segondè?

A: Wi, men sèlman si kouch la byen dans epi ase epè (nou rekòmande > 150 µm). Nan kondisyon trè agresif, nou ta sijere SiC solid pito – men pou anpil aparèy pou grave dyelèktrik 200 mm, grafit kouvri mache byen epi li koute mwens.

K3: Èske ou ofri bag ki gen diferan ang bizote enteryè?

A: Absoliman. Pwofil kwen enteryè a afekte kouplaj kouch plasma a. Nou ka fabrike yon kwen dwat, yon kwen chanfren, oswa yon kwen ak yon reyon - kèlkeswa sa enjenyè pwosesis ou a prefere.

Q4: E konpatibilite mandrin elektwostatik la?

A: Bag nou yo fèt pou chita sou zepòl mandrin lan avèk yon espas kontwole (jeneralman 0.2–0.5 mm) pou evite kou. Nou ka ajiste planè sifas anba a ak aspè sifas dèyè a pou koresponn ak egzijans blokaj mandrin ou an.

Q5: Èske ou bay echantiyon bag pou kalifikasyon?

A: Wi. Nou souvan bay yon ti pakèt (2-5 moso) pou tès sou zouti. Yon fwa ou konfime pèfòmans lan, nou adapte kantite yo selon kantite pwodiksyon an.

Poukisa Enjenyè Fab yo kontinye retounen nan Semixlab

Nou pa yon gwo founisè katalòg – nou se yon boutik espesyalize ki konsantre sou konsomab kritik pou pwosesis la. Ekip nou an gen ladan ansyen enjenyè pwosesis grave ki konprann sa yon varyasyon nan vitès kwen an fè sou rannman ou. Nou reponn rapidman a demann pou pri (RFQ), nou ofri delè livrezon konpetitif (jeneralman 2-3 semèn pou gwosè estanda), epi nou pa pran rakoursi sou pwòpte. Kit ou bezwen yon pwototip inik pou yon nouvo konsepsyon chanm oswa yon rezèv mansyèl fiks pou yon liy pwodiksyon 24 sou 24, 7 jou sou 7, nou ka agrandi kòmsadwa.