Bra robotik seramik SiC

Aplikasyon kle

Bra robotik seramik SiC Semixlab Semiconductor la fèt pou bay yon fyab ak yon pwòpte san parèy nan plizyè etap pwosesis plak semikondiktè yo. Aplikasyon li kouvri tout pwosesis, depi nan premye etap rive nan dènye etap, kote presizyon, kontwòl kontaminasyon, ak entegrite materyèl yo enpòtan anpil.

Nan sistèm manyen ak transfè waf yo, bra robotik SiC a asire yon mouvman ki estab e san patikil nan waf yo ant chanm vakyòm yo, pò chaj yo, ak FOUP yo. Sifas ultra-lis, poli tankou glas la anpeche mikwo-rey epi elimine kontaminasyon patikil pandan mouvman robotik gwo vitès. Estabilite dimansyonèl li anba vakyòm ak estrès tèmik pèmèt li kenbe yon presizyon pozisyonman sub-milimèt, ki esansyèl pou aliyman waf otomatik ak preparasyon litografi avanse.

Pandan pwosesis CVD ak PECVD yo, bra a demontre yon rezistans eksepsyonèl nan anviwònman plasma ak gaz reyaktif tankou Cl₂ ak HF, sa ki pèmèt itilizasyon dirèk nan sistèm depozisyon ki manyen waf Silisyòm, SiC, oswa GaN. Menm anba ekspozisyon pwolonje nan tanperati ki pi wo pase 1000°C, estrikti seramik SiC la kenbe fòs mekanik ak jeyometri li, sa ki bay yon transfè waf serye nan chanm pwosesis ki gen tanperati ki wo ak yon tan antretyen minimòm.

Nan modil grave ak enplantasyon iyon, bra SiC a fonksyone san pwoblèm nan atmosfè plasma alojèn agresif kote konpozan metalik oswa ki baze sou polymère ta tipikman degrade. Inètite chimik li anpeche korozyon ak pèt patikil, sa ki asire estabilite alontèm ak yon pi bon tan fonksyònman zouti. Menm jan an tou, pandan pwosesis oksidasyon, rekui, ak difizyon, koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba bra a anpeche defòmasyon epi prezève presizyon aliyman waf la malgre siklaj tanperati ekstrèm.

Bra robotik seramik SiC a lajman itilize tou nan CMP, netwayaj, ak aplikasyon pòs-pwosesis, kote tou de konpatibilite chimik ak pwopriyete sifas ultra-pwòp yo enpòtan anpil. Li reziste ajan netwayaj asid ak alkalin, anpeche lesivaj iyonik, epi elimine kontaminasyon metalik—sa ki kontribye nan amelyorasyon kalite sifas waf la ak rediksyon defo.

Finalman, nan fabrikasyon semi-kondiktè SiC ak GaN, bra robotik sa a vin tounen yon eleman esansyèl pou aparèy nouvo jenerasyon ki gen gwo espas bann. Konpatibilite materyèl li ak tranch epitaksi SiC yo ak reaktè tanperati ki wo minimize kontaminasyon kwaze, amelyore konsistans pwosesis la, epi sipòte tranzisyon endistri a nan direksyon aparèy ki gen gwo pèfòmans ak efikasite enèji. Kit se nan transfè vakyòm, epitaksi, oswa sistèm rekui tanperati ki wo, Semixlab SiC Ceramic Robotic Arm la asire presizyon, pite, ak lonjevite anba kondisyon pwosesis semi-kondiktè ki pi difisil yo.

Aplikasyon atravè liy semi-kondiktè yo

● Platfòm pwosesis waf 200mm / 300mm

● fabrikasyon aparèy pouvwa SiC / GaN

● Sistèm transfè vakyòm ki gen gwo tanperati

● Ekipman LPCVD, PECVD, Epi, ak RTP

Avantaj Materyèl Nwayo

Bra robotik la, ki konstwi ak seramik SiC sinterize ki gen gwo dansite, bay:

● Estabilite tèmik jiska 1200°C pou pwosesis founo ak epitaksyal.

● Rezistans chimik siperyè pou HF, Cl₂, O₃, ak lòt gaz agresif.

● Operasyon ultra-pwòp ak jenerasyon minimòm patikil, ideyal pou anviwònman Klas 1.

● Ekspansyon tèmik ki ba asire yon presizyon aliyman sub-milimèt.

● Kouch kondiktif SiC opsyonèl pou pwoteksyon ESD ak kontwòl egzeyat elektwostatik.