Kijan Preparasyon Sifas Anpeche Kouch CVD Dekale sou Pati Grafit yo

Lè kouch yo kòmanse dekale, anpil pati ki fèt ak grafit ka kraze nan... Cvd kouch pwosesis la. Pafwa kouch la se pwoblèm nan, sepandan, epi pafwa li rive akoz tretman sifas la ki pa apwopriye anvan kouch la. Lyezon an fèb si sifas la sal, gra oswa twò lis. Nan koòdone a, ti espas fòme epi yo ogmante ak kantite sik chofaj yo. Preparasyon sifas la ka amelyore adezyon kouch la epi amelyore estabilite tèmik la. Menm yon ti domaj nan graj ak netwayaj ap lakòz kouch la kraze, sa ki pral lakòz yon tan arè ki koute chè nan yon liy pwodiksyon. Se poutèt sa preparasyon sifas la tipikman premye bagay teknisyen yo gade.

Optimizasyon Aspè Sifas pou Substrat Grafit ki gen Gwo Pite

Si w ap itilize grafit ki gen anpil pite, youn nan paramèt ki pi enpòtan pou w fikse se aspè sifas la ki graj. Si kouch la twò lis, alò, natirèlman, pa gen anyen pou l "kenbe". Li ka kòmanse pafè men ti tach yo ka kòmanse leve lè sik chofaj yo kòmanse epi y ap tounen flokon. Finalman, si sifas la twò graj, kouch la ka pa plat epi lakòz pwen fèb oswa twou ladan l, ki pral febli tou. Objektif la se pou w gen yon teksti byen balanse. Reflechi sou aplike yon kouch epi bay yon baz ki estab nan penti a san w pa fè sifas penti a graj. Nan anpil sistèm pwodiksyon, balans lan reyalize atravè sablaj kontwole, ak/oswa mak machin trè fen ke teknisyen an kite. Bagay ki pi enpòtan an se pou w konsistan. Si gen estrès ki pa inifòm apre sik chofaj ak refwadisman, yo ka akòz reyur oswa modèl ki pa inifòm. Vrè aplikasyon an se yon liy kouch pou sisèptè nan zouti semi-kondiktè ki fabrike ak grafit. Yo te wè kale kwen nan pati ki te trete sifas la yon ti kras sèlman, epi yo pa t trete sifas la apre 2-3 sik tèmik. Yo te ajiste etap aspèj la pou kontwole l epi yo te diminye nivo dekale a, sa ki te lakòz yon pi gwo kapasite pou kouvri. Sa te depann sèlman de kijan kouch la te kapab "bloke" an plas pandan y ap depoze l la. Kontaminasyon sifas la se yon eleman nan pwoblèm nan ke yo souvan neglije, epi ki ka koze pa aspèj. Si li gen yon bon teksti, men li toujou gen fòs, Lè sa a, ka gen kèk pousyè oswa lwil manyen ki p ap retire, epi li ka difisil oswa enposib pou kole. Netwayaj apre tretman sifas la enpòtan tou menm jan ak pwosesis tretman sifas la li menm, kidonk netwayaj imedyatman apre tretman sifas la enpòtan. Li ede tou kenbe aspèj la nan yon seri olye de yon estimasyon. Anpil ekip pral fè verifikasyon mikwoskopik ak/oswa verifikasyon senp sou pwofil sifas pwodwi a pou asire ke pwodwi a konsistan soti nan yon pakèt rive nan yon lòt. Yon fwa yo etabli seri kouch ki apwopriye a pou nenpòt sistèm kouch patikilye, antretyen seri a se youn nan pwosedi ki pi fasil ki ta ka ede anpil diminye dekale kouch la sou tan si yo kenbe seri a.

Teknik Netwayaj ak Pre-Tretman Anvan Kouvèti CVD

Pwosesis netwayaj ak pre-tretman an gen yon enpak siyifikatif sou yon gwo pati nan pwosesis CVD a ak tretman ki vin apre pou pyès ki kouvri ak CVD. Li ta dwe pwòp, san pousyè epi san okenn debri machin epi li ta dwe san yon fim mens lwil ki fòme lè yo manyen sifas la, sinon yon kouch pa pral kole sou sifas la. Okòmansman li ka sanble OK, men avèk letan, pwen fèb sa yo pral elaji epi kouch la pral kòmanse dekale oswa kale. Yon netwayaj senp ak sòlvan se pi bon. Pyès yo netwaye epi siye jeneralman ak sòlvan apwouve pou retire kontaminasyon lejè ak grès nan pyès yo. Men, sa pa tipikman ase. Anpil atelye respekte li epi yo itilize netwayaj ultrasons pou retire nenpòt ti patikil ki ka bloke nan ti porositë ki nan grafit la. Li mache patikilyèman byen nan fòm konplike, kote li pa posib pou siye men. Yon lòt pwosesis ke moun yo gen tandans prese fè se netwayaj; sa a swiv pa siye. Pandan kouch la, li posib pou gen bul gaz nan kouch la akòz imidite twòp. Yo se pati nan machin nan ki vilnerab epi yo pral premye ki pral kraze. Anfèt, nan kèk ekip pwodiksyon, yo menm bay yon boulanjri tèmik dous anvan kouch la nan pwodiksyon aktyèl la. Sa ap elimine nenpòt imidite ak volatil ki te bloke nan grafit la. Yo te obsève plizyè kale kouch la nan zòn santral yon sisèpteur nan yon liy zouti semi-kondiktè. Yo te revize li epi yo te deside ke pwosesis la te satisfezan an sa ki konsène netwayaj la, men li pa t satisfezan an sa ki konsène tan siye a. Avèk yon siye ki pi atansyon ak pwolonje, pwoblèm nan te redwi anpil. Apre netwayaj la, manyen an se yon faktè enpòtan tou. Li enpòtan pou note ke kontaminasyon kole fasilman sou sifas grafit ki pa kouvri yo, atravè kontak ak po a oswa menm lè pwòp nan yon chanm. Pakonsekan, tan, plato pwòp ak gan ka fè pati koule pwosesis la. Kle pou yon bon pre-tretman SE PA fè yon sèl bon etap netwayaj! Li sou kouch etap debaz pou elimine divès kalite kontaminasyon. Si chak etap byen fini, kouch la ap gen yon baz pwòp epi li pral estab tou pandan l ap itilize, sa ki diminye dekale nan sèvis.

Mekanis Amelyorasyon Adezyon nan Kouch CVD SiC

Yon fwa sifas la fin netwaye epi byen prepare, pwochen obstak la se jwenn bon adezyon ak estabilite nan sifas la. Maladi kardyovaskilè (CVD) kouch lè l ap opere. Se pa jiskaske isit la yo prezante mekanis adezyon. Li plis pase jis kole! Li konpoze de adezyon sifas, lyezon chimik ak kalite kwasans kouch nan moman depo a. Anklanchman mekanik se youn nan faktè enpòtan yo. Nan yon sifas grafit ki gen teksti kontwole, kouch SiC a pèmèt li grandi nan ti siyon. Li ede minimize chans pou bilding lan kale pandan ekspansyon ak kontraksyon nan tanperati a. Genyen tou yon faktè enpòtan nan lyezon chimik. Premye etap CVD a se reyaksyon atòm Silisyòm yo ak sifas grafit la. Nan sèten ka, yo ka jwenn kouch tranzisyon carbure mens nan koòdone a. Kouch sa a aji plis kòm yon lyan ki pral mare kouch la ak substra a ansanm olye ke li aji kòm 2 kouch. Yon kouch entèmedyè mens pafwa itilize tou anvan depo SiC konplè sou kèk liy pwodiksyon. Kouch sa a ede diminye estrès la epi kreye yon kouch ki pi inifòm. Sinon, ta ka gen kèk kwasans rapid oswa tach fèb ki pral vin tach kale pita nan jwèt la. Yon aplikasyon aktyèl se yon siseptè pou yon reaktè epitaksi ki itilize pou yon grafit. Pyès la te sibi plizyè sik tèmik, sa ki te lakòz kwen yo dekale. Apre revizyon pwosesis la, enjenyè yo te reyalize ke etap nikleyasyon pwosesis la te twò rapid, sa ki te lakòz pwoblèm lyezon pòv ant kouch anba a. Yo te varye kantite koule gaz la pandan premye etap depo a pou jwenn yon kouch ki pi inifòm epi pita yo te amelyore adezyon an. Kontwòl estrès la se yon faktè tou. Lè kouch sifas la sibi yon gwo pousantaj estrès, li pral eseye soulaje estrès la lè tanperati a ogmante, sa ki ka lakòz fant sou kouch sifas la/zòn koneksyon an. Se pa yon sèl chanjman ki pral fè yon bon adezyon. Se yon rezilta kontwòl inisyasyon, devlopman ak adezyon pwogresif kouch la.

Enpak domaj sifas sou dire lavi kouch

Defo sifas nan grafit la ka parèt byen piti, men yo ka afekte dire lavi yon Kouch CVD sic Ti reyur, twou oswa patikil ki rete yo ka vin tounen pwen fèb nan sik chalè ki wo. Yon ti defo ka piti piti devlope an fant, ki evantyèlman ka lakòz kouch la dekale oswa delamine. Pwoblèm komen yo se mikwo reyur ki koze pa atelye machin oswa manyen. Reyur sa yo ka inofansif, men yo pral fòme yon kwasans iregilye pandan kouch la. Kouch la pa menm anndan an oswa nan reyur la epi li lakòz zòn estrès kache. Pandan pyès la ap chofe, ekspansyon divès zòn yo ap diferan, sa ki kreye separasyon. Twou sifas se yon lòt pwoblèm. Grafit gen porosit natirèl, men si sifas la pa trete pou l vin lis oswa ranpli, ti twou sa yo ap vin tounen yon eponj pou gaz ak enpurte. Pandan gaz ki bloke a ap elaji pandan CVD, li ka kreye ti anpoul anba kouch la. Anpoul yo gen tandans kraze pandan repete tèmosiklaj. Kontaminasyon se yon pwoblèm an silans tou. Anprent dwèt yo pral lakòz yon kouch mens lwil ki ka anpeche lyezon nan zòn sa a. Dekale kwen o aza te pèsistan sou kouch fini nan yon liy pwodiksyon kote yo t ap pwodui pati sisèpteur grafit. Yo te jwenn kòz la, se te mak manyen ki soti nan transfè ant etap netwayaj ak kouch yo. Pwoblèm nan te diminye apre yo te fin sere manyen an epi yo te diminye kontak la. An patikilye, domaj kwen yo enteresan. Kwen ki graj oswa kwen byen file yo se zòn ki gen plis chans pou yo sibi estrès lè yo chofe. Anjeneral, zòn sa yo gen pi gwo pousantaj degradasyon kouch la, sa vle di ke anvan depo kouch la, anpil pwosesis mande pou yon "awondi kwen" anplis. Règ prensipal la se kouch la pa dwe maske domaj sifas yo. Gade anba a epi kopye fòm ak eta li. Defo sifas yo ap mennen nan echèk kouch la. Lis, pwòpte ak estabilite sifas baz la ede garanti lonjevite, fyab ak estabilite kouch la.

Normalizasyon atravè platfòm AIXTRON, Veeco, ak LPE yo

Avèk itilizasyon CVD sou divès platfòm tankou AIXTRON, Veeco, ak LPE, gen yon obstak ki parèt: Chak machin gen yon stil operasyon yon ti jan diferan, men kouch la dwe fonksyone menm jan an nan toulede. Si rezilta yo pa menm lè resèt la se menm nan, sa ka akòz yon mank de normalizasyon nan zouti yo. Souvan ekip yo senkronize sou yon sifas an premye. Pwosedi netwayaj ak rabotaj pou pati grafit yo ki pral mete nan depo a se menm jan ak sa ki dekri pi wo a. Sa gen ladan netwayaj sòlvan souvan, tan siye ak pwosedi manyen. Si yon liy sote oswa diminye yon etap, sa ka lakòz yon diferans nan lavi kouch nan platfòm yo, ke yo ka wè pita. Ta dwe genyen tou yon aliyman koule gaz ak pwofil tanperati. Tanperati ak distribisyon gaz nan sistèm AIXTRON, Veeco ak LPE yo ka diferan, sa ki enfliyanse kòmansman fòmasyon kouch la sou sifas la. Nan pwen sa a, nikleyasyon an ka pi rapid nan yon sistèm pase nan yon lòt, sa ki lakòz yon chanjman nan estrikti kouch la - menm si resèt la se menm nan. Kontras sa a ka manifeste tèt li kòm diferans dansite oswa estrès entèn.