Bag kouvri ak TaC pou reaktè epitaxial SiC

Nan reaktè epitaksiyal Silisyòm kabid, tanperati fonksyònman yo tipikman depase 1600 °C anba atmosfè idwojèn ak klò ki trè koroziv. Pèfòmans konpozan kontwòl limit ak kwen yo afekte dirèkteman kalite kouch epitaksiyal la, konsistans sede a, ak tan fonksyònman ekipman an. Bag kouch tantalyòm kabid (TaC) Semixlab yo fèt espesyalman pou satisfè egzijans sa yo nan anviwònman pwodiksyon an mas. Bag sa yo sèvi kòm konpozan fonksyonèl kritik nan tanperati ki wo pou reaktè epitaksiyal SiC yo, pou asire estabilite pwosesis alontèm, kwasans epitaksiyal inifòm, ak pwòpte reaktè a.

Nan pwosesis epitaksi SiC yo, bag kouch tantalyòm carbure (TaC) yo pozisyone toupre bor waf yo oswa nan zòn tranzisyon reaktè pou koule tèmik ak gaz. Fonksyon prensipal yo se estabilize gradyan tanperati lokal yo ak konpòtman reyaksyon faz vapè nan bor waf yo—zòn ki pi gen tandans pou depo parazit san kontwòl ak inifòmite bor. Lè yo defini avèk presizyon limit reyaksyon yo epi siprime depo silikon ak kabòn endezirab, bag kouch sa yo amelyore efektivman inifòmite epesè epitaksi ak konsistans dopan pou waf SiC gwo dyamèt.

Semixlab te chwazi kouch carbure tantal akòz estabilite tèmik eksepsyonèl li, inertite chimik li, ak rezistans li a korozyon alid. Avèk yon pwen fizyon ki depase 3880 °C ak yon ekselan konpatibilite ak H₂, HCl, ak lòt pwodui chimik koroziv ki souvan itilize nan pwosesis epitaksi carbure Silisyòm, TaC pwoteje efektivman substrat ki anba a kont ewozyon ak degradasyon estriktirèl. Estrikti kouch dansite wo ak porosit ki ba sa a minimize jenerasyon patikil, diminye risk mikwo-fant oswa delaminasyon, epi asire kondisyon reaktè ki estab pandan sik fonksyònman pwolonje.

Konpare ak solisyon tradisyonèl yo ki fèt ak carbure Silisyòm oubyen grafit pou sisèptè yo, rezistans siperyè Tantalum Carbide Coating la kont mete ak korozyon pwolonje dire lavi konpozan yo anpil, kidonk diminye frekans antretyen ak derive pwosesis ki asosye ak ranplasman konpozan yo. Nan pèspektiv pri pwodiksyon an, bag Tantalum Carbide Coating la amelyore repetabilite pwosesis la ak rentabilité. Pou liy pwodiksyon epitaksial ki gen gwo débit ak fabrikasyon aparèy pouvwa avanse, estabilite sa a tradui an pi gwo sede, itilizasyon ekipman ki pi efikas, ak pi ba pri pwodiksyon.

Kòm yon antrepriz teknoloji dirijan nan sektè pwosesis epitaxial semi-kondiktè Lachin nan, Semixlab posede yon gwo ekspètiz nan teknoloji kouch avanse ak materyèl pwosesis semi-kondiktè. Bag Kouvwi TaC nou an pou Reaktè Epitaxial SiC garanti pou devlope ak fabrike anba estanda kontwòl kalite ki trè strik. Semixlab rete angaje nan bay teknoloji dènye kri ak solisyon Customized Bag Kouvwi TaC pou Reaktè Epitaxial SiC pou endistri semi-kondiktè a. Nou sensèman ap tann pou nou vin patnè alontèm ou nan Lachin.