Bag lonbraj kwatz 200mm

Quartz Shadow Ring 200mm lan (Nimewo Pati 0200-10445) se yon konpozan semi-kondiktè ki fèt ak presizyon epi ki fèt pou ekipman pwosesis waf 200 mm. Li jwe yon wòl enpòtan nan pwoteksyon kwen waf la, kontwòl distribisyon plasma, ak rediksyon kontaminasyon chanm pandan pwosesis grave ak depo plasma.

Fabrike ak kwatz fizyon ki gen anpil pite, bag lonbraj sa a ofri ekselan rezistans a korozyon plasma, estabilite tèmik, ak nivo kontaminasyon ultra-ba, sa ki fè li ideyal pou anviwònman fabrikasyon semi-kondiktè ki difisil.

Nan Semixlab, nou founi konpozan kwatz ki gen gwo presizyon, ki fèt pou satisfè estanda tolerans dimansyonèl ak pite strik ki nesesè pou ekipman pwosesis semi-kondiktè.

Apèsi sou lekòl la Product

Bag lonbraj kwatz 0200-10445 la enstale toutotou kwen wafer la andedan chanm pwosesis la. Li fèt pou bay yon lonbraj kontwole sou perimèt wafer la, pou ede kenbe kondisyon pwosesis ki konsistan sou tout sifas wafer la.

Konpozan sa a lajman itilize nan chanm grave ak sistèm pwosesis plasma, kote kontwòl egzak kwen esansyèl pou reyalize yon gwo rannman wafer ak inifòmite pwosesis.

Karakteristik estriktirèl tipik yo

Bag lonbraj kwatz 0200-10445 la fèt ak karakteristik estriktirèl ki espesyalman optimize pou entegrasyon chanm semi-kondiktè.

Dyamèt enteryè ki matche ak wafer: Dyamèt enteryè a fèt avèk presizyon pou l matche ak kwen wafer 200 mm lan, sa ki asire yon pozisyonman egzat ak efè lonbraj ki konsistan.

Jewometri machinasyon presizyon: Yo fabrike konpozan an avèk tolerans sere pou garanti bon aliyman ak pati chanm ki antoure yo epi kenbe kondisyon pwosesis ki estab.

Entach Aliyman: Anpil modèl enkòpore dan aliyman oswa karakteristik pozisyonman pou asire oryantasyon enstalasyon kòrèk nan ekipman an.

Epesè optimize: Yo kontwole epesè bag la ak anpil atansyon pou bay bon balans ant fòs mekanik ak pèfòmans pwoteksyon plasma a.

Fini sifas lis: Yon sifas poli kalite siperyè diminye jenerasyon patikil epi amelyore konpatibilite ak anviwònman chanm pwòp yo.

Wòl nan Ekipman Semi-kondiktè

Bag lonbraj kwatz la jwe yon wòl enpòtan nan kenbe kondisyon pwosesis ki estab andedan chanm plasma yo.

1. Kontwòl Pwosesis Wafer Edge

Pandan grave oswa depozisyon plasma, rejyon kwen waf la ka sibi yon ekspozisyon plasma ki pa inifòm. Bag lonbraj la bay yon pwoteksyon kontwole sou perimèt waf la, sa ki anpeche twòp grave oswa depozisyon nan kwen an.

Sa ede amelyore:

● inifòmite kwen wafer la

● repetabilite pwosesis la

● rannman aparèy la

2. Pwoteksyon Konpozan Chanm yo

Bag lonbraj la pwoteje tou konpozan kle chanm lan tankou:

● mandrin elektwostatik (ESC)

● pedestal oswa aparèy chofaj

● sifas chanm ki antoure yo

Lè li bloke ekspozisyon dirèk ak depo plasma, li diminye usure epi li pwolonje dire lavi pati kritik sa yo.

3. Estabilizasyon Distribisyon Plasma

Jeyometri bag la ede kontwole djenn plasma a toupre kwen wafer la, sa ki kontribye nan yon dansite plasma ki pi inifòm ak yon pi bon kontwòl pwosesis atravè wafer la.

4. Rediksyon Patikil

Lè li kontwole rejyon depozisyon yo epi li pwoteje sifas sansib yo, bag lonbraj la ede diminye fòmasyon patikil andedan chanm lan, ki esansyèl pou fabrikasyon semi-kondiktè ki gen gwo rannman.

Materyèl ak avantaj kle yo

Bag lonbraj la fabrike avèk kwatz fizyon (SiO₂) ki gen gwo pite, yon materyèl ki lajman itilize nan fabrikasyon semi-kondiktè akòz pwopriyete chimik ak tèmik eksepsyonèl li yo.

Rezistans Plasma Segondè:

Quartz demontre yon ekselan rezistans nan anviwònman plasma ki baze sou fliyò ak klò, ki souvan itilize nan pwosesis grave semi-kondiktè. Sa asire yon lavi sèvis ki long ak yon pèfòmans ki estab.

Kontaminasyon Ultra-Ba:

Kwatz ki gen gwo pite a gen nivo enpurte metalik ki ba anpil, sa ki ede minimize risk kontaminasyon nan chanm pwosesis la epi kenbe bon jan kalite wafer la.

Estabilite tèmik siperyè:

Materyèl kwatz yo ofri ekselan rezistans chòk tèmik ak estabilite tanperati ki wo, sa ki pèmèt bag lonbraj la fonksyone yon fason fyab anba sik chofaj ak refwadisman repete nan chanm plasma yo.

Ekselan inertness chimik:

Quartz rete chimikman estab nan anviwònman pwosesis semi-kondiktè ki difisil, sa ki diminye degradasyon ak jenerasyon patikil.

Machinabilite presizyon:

Avèk pwosesis avanse pou machinasyon ak polisaj, kwatz ka reyalize tolerans dimansyonèl sere ak fini sifas lis, ki esansyèl pou kondisyon pwosesis wafer ki estab.